突破物理極限！Alluxa發布超低應力二向色性鍍膜技術，攻克超薄基底變形難題

導語

在精工光學系統設計中，工程師們常常面臨一個棘手的“魚與熊掌"難題：

為了實現設備的輕量化和緊湊化，我們需要使用極薄的玻璃基底；但同時，為了獲得盡致的光學性能，又必須鍍上多層致密的介質膜。

結果往往是災難性的——高密度的薄膜會產生巨大的內部應力，導致超薄基底發生嚴重的彎曲變形（即“薯片效應"），最終充分破壞系統的波前和成像質量。

難道“超薄基底"與“高性能鍍膜"真的無法兼得嗎？

作為國際高性能光學鍍膜和濾光片技術的翹楚，Alluxa 剛剛交出了一份令人振奮的答卷。

01. 突破瓶頸：專為 <1.0 mm 超薄基底而生

近日，Alluxa 正式宣布了一項突破性的技術進展：基于其專有的 Sirrus™ 等離子體物理氣相沉積 (PVD) 工藝，成功研發出全新的 ULTRA 低應力二向色性鍍膜工藝 (ULTRA Low-Stress Dichroic Process)。

這項技術的亮點在于：它能夠在厚度小于 1.0 毫米 (<1.0 mm) 的超薄基底上，實現致密的介質光學鍍膜，同時將薄膜應力降至開創性的極低水平。

這意味著，光學工程師在進行系統設計時，不再需要為了妥協鍍膜應力而被迫增加基底厚度。這一突破極大地減少了設計限制，為光學儀器的微型化和性能打開了新的大門。

圖 1. 采用 Alluxa 低應力工藝制造的 0.5 毫米厚超平坦二向色濾光片。

02. 性能不妥協：依然是頂配的 ULTRA 系列

在過去，降低鍍膜應力往往意味著要犧牲一定的光學性能（例如邊緣陡度或透射率）。但 Alluxa 的研發團隊打破了這一常規。

全新的低應力工藝被整合進了 Alluxa 備受贊譽的 ULTRA 系列產品線中。這意味著，這些超薄、超平的二向色性濾光片，依然具備 ULTRA 系列標志性的“頂配"參數：

• 極陡峭的邊緣過渡 (Steep Edges)：實現波段之間的精準切割。

• 超高透射率 (High Transmission)：較大限度保留目標光信號。

• 杰出的反射率 (Superior Reflection)：確保光路的高效分離與導向。

圖 2. ULTRA 系列多波段二向色分光鏡，具有 5 個透射波段，且各波段間均由反射波段隔開。

正如 Alluxa 總裁 Peter Egerton 所言：

“我們非常激動能為客戶帶來這項新能力。多年來，‘在超薄基底上實現高性能、陡邊緣的二向色鏡’一直是客戶頻繁提出的迫切需求。我們的工程團隊付出了巨大的努力，最終構思并創新出了這一優異的解決方案。"

03. 眼見為實：行業前沿化的平整度表現

為了直觀展示 ULTRA 低應力工藝的強悍實力，Alluxa 公布了干涉儀測試對比數據。

圖 3. ULTRA 低應力工藝展示了未鍍膜基底（左）與鍍膜后基底（右）之間極小的平整度變化。

從測試結果可以清晰地看到，即使在極薄的基底上完成了復雜的多層介質膜沉積，鍍膜后的基底依然保持了與未鍍膜前幾乎一致的平整度。這種行業前沿化的平整度控制能力，直接保障了最終光學儀器的精度和穩定性。

04. 賦能前沿：三大核心應用場景

這項“超薄且平整"的鍍膜黑科技，將直接惠及以下對體積、重量和精度要求較高的前沿領域：

1.顯微鏡 (Microscopy)

在現代多色熒光顯微鏡中，光路極其緊湊。超薄的二向色鏡可以有效減少光束偏移和像差，提升高數值孔徑 (NA) 系統的成像清晰度。

圖 4. 用于熒光顯微領域的超陡變、高透過率長通二向色分光鏡。

2.醫療器械與體外診斷 (Medical)

隨著醫療設備向便攜化 (Point-of-Care) 和微型化發展，內部光學組件的尺寸和重量被嚴格限制。低應力超薄濾光片是實現醫療儀器小型化的關鍵拼圖。

3.航空航天應用 (Space-based Applications)

在太空探索中，“克克計較"是常態。超薄基底能大幅減輕有效載荷的重量，而致密的 PVD 鍍膜則能抵抗太空嚴苛的溫度和輻射環境，確保設備在軌穩定運行。

行動號召

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